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리니어 시리즈 측정기 :서프컴 CREST DX/SD 세계 최고 수준의 고정밀도/고속 측정/고분해능을 구현서프컴CREST DX --- 특징 ---고안정배율 광로형 레이저 간섭 센서?도쿄 정밀의 요소 기술중 하나인 광섬유를 통한 레이저 간섭 측정 시스템을 응용하여,분해능 0.31 nm의 높은 고안정배율 광로형 레이저 간섭 센서를 개발하여 탑재하였습니다.?다이나믹레인지(Dynamic range)와 해상도 비율은 42백만 :1도 있으며,넓은 범위의 윤곽 형상과 그 형상에 숨어있는 미세한 표면 형상을 하나로 추적하여 평가할 수 있는 획기적인 것입니다.구동부에 리니어 모터(Linear Motor) 탑재(특허 취득 완료)?리니어 모터를 구동하여 고정밀도/ 고속 이동을 구현하였습니다. ?진동을 감소시켜 안정된 고배율 측정이 가능합니다. 한 번의 측정으로 조도(Roughness)와 윤곽을 분석?고정밀도를 유지하면서 측정 효율을 향상시킬 수 있습니다.측정부의 고속화(200 mm/s)에 의한 처리량 향상?가로 방향 200 mm,세로방향 13 mm의 넓은 측정 범위?구동부 경사 장치로 ± 45°의 자동 제어 가능(SURFCOM CREST-T타입) ?
